据台湾媒体《科技新报》消息，ASML位于台南科学园区的“EUV（极紫外光）全球技术培训中心”今（20）日正式开幕。该培训中心占地1625平方公尺，配备实机模块（live module），提供技术理论课程和无尘室实机操作课程等多元化培训内容，总投资金额达1350万欧元（约合1.1亿元人民币）。目前该中心配置14位讲师，预计每年可提供数千小时课程，为ASML和客户培育360位EUV技术工程师。培训中心设立后，ASML在台湾的研发团队人数也预计3年内由原本280人提升至500人。

  ASML指出，将新手工程师培育成技术熟稔、可独自作业的EUV工程师需历经18个月训练。过去全球EUV工程师即使只负责部分专业技术，都必须前往ASML荷兰总部接受长达数月的培训。随着新冠肺炎疫情为全球差旅工作增添许多限制与不确定性，位于台南的EUV全球技术培训中心就为台湾ASML与客户提供相对安全经济的培训方式。此外，ASML在韩国也设有EUV技术培训中心，为新进工程师提供EUV基础训练课程，以满足与日俱增的客户需求。

  据了解，目前使用ASML的EUV设备最多的台积电，其与ASML进行EUV设备合作长达10年。台积电表示，因为EUV是先进制程的重要关键设备，所以台积电斥巨资购买，而人员操作让EUV能发挥最大的功效就极其重要。

来源：集微网